光伏，即光伏发电系统，是利用半导体材料的光伏效应，将太阳辐射能转化为电能的一种发电系统。光伏发电系统的能量来源于取之不尽、用之不竭的太阳能，是一种清洁、安全和可再生的能源。薄膜太阳能电池是一种新型的光伏器件，可以实现光电转化。在薄膜太阳电池的制备过程中使用各式各样的沉积技术，在基材上镀砷化镓（GaAs）、铜铟硒（CIS）、碲化镉（CdTe）等材料的薄膜可以大大提高光生电流密度，进而提高转换效率。太阳能电池的沉积工艺如物理气相沉积 (PVD) 或等离子体增强化学气相沉积(PECVD)均需要在真空环境下进行。