尖端科学仪器装备的研发能力

代表着一个国家的科学技术水平

更影响、推动着社会不断进步

数十年来，我国一代代科研与产业化工作者投身其中，一次次创造辉煌，蜕变重生。70年代我国第一台扫描电子显微镜、第一台涡轮分子泵、第一台商用氦质谱检漏仪……这些令国人引以为豪的成就，都来自这家位于海淀区的企业——北京中科科仪股份有限公司。

励精图治数十载，谱写科仪新篇章

北京中科科仪股份有限公司（简称：中科科仪），前身为中国科学院科学仪器厂，成立于1958年，曾为我国“东方红一号”卫星的研制做出重要贡献，是中国科学院第一家整体转改制单位。

历经六十余年的发展，中科科仪始终致力于电子光学和真空技术领域，承担了多个国家重要科研攻关项目，研制出多项国内首台套产品，新产品研发成果始终代表中国高端电子光学仪器和真空技术最高水平。近年来，更是成功研制出国内首台场发射枪扫描电子显微镜、首台磁悬浮分子泵，均达到国际一流水平。

中科科仪先后获评国家级高新技术企业、国家级企业技术中心、国家级“专精特新”小巨人企业、国家级“单项冠军”示范企业，是中国尖端科学仪器装备与真空技术领军者。

目前，中科科仪业务领域覆盖扫描电子显微镜、氦质谱检漏仪等科学仪器设备和分子泵、真空应用设备等核心零部件及产业设备，产品广泛应用于航空航天、半导体、汽车工业、新能源、新材料、节能环保等前沿科学研究和高端装备制造领域。

扫描电镜——打开微观世界的大门

扫描电镜全称是扫描电子显微镜，被称为科学界的“纳米之眼”，同时也是科技日报列出的国家35项关键“卡脖子”技术之一。

作为一种高端通用大型科学仪器，是人类认识、探索微观世界最重要的工具，是肉眼观察和光学显微镜观测的延伸。人类眼睛的分辨率大约0.2毫米，可以看到一根头发丝的粗细、一张纸的厚度；借助于光学显微镜可以看到0.2微米的这个尺度，可以看到细胞、细菌的结构等；而借助扫描电子显微镜，就可以观察到纳米级尺度，可以观测到病毒、半导体器件的纳米结构等。

2014年，中科科仪依托一流的电子光学技术，成功研制我国首台场发射枪扫描电子显微镜，打破国际垄断，达到国际一流水平。自问世以来，扫描电镜广泛应用到材料科学、生命科学、航天航空、环境保护、半导体制造等领域，解决微米至纳米尺度的微观形貌观测以及微区成分分析问题，为我国前沿科学研究、重大工程和战略新兴产业的发展提供了重要支撑。

国家重大科学仪器设备开发专项成果——场发射枪扫描电子显微镜

分子泵——打造超高真空环境

如今，很多大型的科学仪器和设备的运行离不开超高真空环境，而要获得洁净的超高真空环境，需要一个特殊的超高真空获得核心部件——分子泵。

分子泵是科学仪器、前沿科学装置和产业装备等不可或缺的核心零部件，为科研、生产等环节提供必要的洁净、超高真空环境。在日常生活中人们看到的建筑外墙LOW-E玻璃、电子屏幕的生产制造以及半导体等战略新兴产业的各生产工艺环节，都依赖于分子泵获得的超高真空环境。

2011年，中科科仪依托一流的超高真空获得技术，成功研制我国首台磁悬浮分子泵，解决半导体前道工艺与科学研究装备超高真空获得核心部件国产化需求，打破国际垄断，达到一流水平。

依托一流真空系统开发与设备集成能力，科仪参与多项国家重点工程，提供定制化真空应用系统解决方案，研制了一系列填补国内空白的首台套设备，服务高能同步辐射光源国家科技重大基础设施、江门中微子实验室国家重点工程、天和核心舱和慧眼卫星等航天工程建设。

世界正经历百年未有之大变局，新一轮科技革命和产业变革的广度、深度、速度和精度前所未有，尖端科学仪器装备与核心零部件的国产化机遇也前所未有。作为国家战略科技力量投资兴办的企业，中科科仪始终涵养家国情怀、胸怀国之大者，秉承“创新科学仪器，发展一流企业”使命，以一流电子光学和真空技术，打造尖端科学仪器设备及高端装备制造国家队，为强化国家战略科技力量、实现科技自立自强做出新的贡献。