12月28日至30日，2022年北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会在北京经济技术开发区隆重举行。IC WORLD大会是中国北方地区具有较大影响力的品牌集成电路大会，本届大会以“蓄势起航 焕然一芯”为主题，全面整合行业资源，提升行业参与力，为业界带来诸多新看点。作为中国尖端科学仪器和真空技术的引领者，中科科仪受邀出席。

本届大会由中华人民共和国工业和信息化部、中华人民共和国科技部、北京市人民政府指导，北京市经济和信息化局、北京经济技术开发区管委会主办。大会召开了精彩纷呈的学术会议，特邀众多政府领导、业内专家及知名投资机构领导莅临现场，通过思想碰撞、深度交流、展览展示，探讨集成电路产业链关键核心技术的新发展和新方向。中科科仪真空技术研发中心时剑文博士在集成电路零部件创新发展论坛发表主题为《磁悬浮分子泵技术及半导体行业应用》的线上演讲，全面讲解了磁悬浮分子泵技术和磁悬浮分子泵在半导体行业的应用，获得与会专家和学者的一致认可和好评。

磁悬浮分子泵可获得清洁无油的超高真空环境，是集成电路前道工艺刻蚀、离子注入、薄膜沉积装备的关键核心零部件。中科科仪磁悬浮分子泵突破磁悬浮轴承及控制、无位置传感器高速电机及控制、整体转子精密加工、高性能涡轮动静叶片设计、高强度铝合金涡轮材料、精度位移传感器、稀薄流态的真空性能仿真、复杂转子系统动力学分析等关键技术，满足集成电路制造工艺的严苛要求，性能指标对标国际一流产品，供应链实现完全自主可控。

当前，我国集成电路产业正处在前所未有的大变局中，一方面数字经济、新基建正成为我国集成电路产业发展的重要驱动力，另一方面，复杂的外部产业环境变化也为我国集成电路产业带来全链突破、加速发展的历史性机遇。中科科仪作为集成电路产业核心零部件厂商，不断抢抓机遇，自研制中国首台磁悬浮分子泵以来，加速推进磁悬浮分子泵规模产业化，产品广泛应用于半导体制造、薄膜沉积、离子注入、高端光学镀膜、科学研究、异质结光伏等领域。其中，中科科仪系列半导体行业专用磁悬浮分子泵凭借卓越可靠的耐腐蚀能力、安全稳定的防沉积能力、配置灵活的分体式设计以及紧凑便利的高集成设计特点，获得广大用户的厚爱。

未来，中科科仪将继续加强集成电路制造工艺的适用性研究，不断提升磁悬浮分子泵的性能指标，实现集成电路制造领域国产化替代，助力解决集成电路产业核心零部件“卡脖子”问题，为强化国家战略科技力量、实现高水平科技自立自强做出新的贡献！

摘要：真空“硬科技”赋能集成电路产业发展。