中科科仪亮相半导体设备材料与核心部件展示会
8月9日-11日,由江苏省工业和信息化厅、无锡市人民政府指导,中国电子专用设备工业协会、无锡国家高新技术产业开发区管理委员会主办的第十一届半导体设备材料与核心部件展示会在无锡太湖国际博览中心盛大开幕。中科科仪作为中国尖端科学仪器和真空技术领军者受邀参会,与半导体装备制造龙头企业及产业链优质企业齐聚一堂,共同探讨半导体设备材料及核心部件的未来发展趋势。
本次展会是我国半导体行业权威设备与核心部件展示会、研讨会,是全产业生态链深入交流与合作的平台。中科科仪携半导体装备制造核心零部件产品和半导体检测设备及解决方案精彩亮相,吸引了众多专业人士、行业同仁前来参观交流。
半导体产业是支撑现代经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业,我国正在加快推进先进制程设备的国产化替代进程。中科科仪聚焦半导体领域“卡脖子”问题,研制了集成电路制造装备关键核心零部件——磁悬浮分子泵,目前已推出面向半导体和工业两个应用方向覆盖标准系列、高温系列、分体系列等多个产品线共计二十余款产品,广泛应用于半导体刻蚀、薄膜沉积、离子注入、分子束外延、异质结光伏、真空镀膜、平板显示、科研与工业等领域。
扫描电子显微镜作为半导体检测领域不可或缺的高端科学仪器,被科技日报列为国家35项关键“卡脖子”技术之一。中科科仪在电子光学领域持续耕耘50余年,近年来推出我国第一台场发射枪扫描电子显微镜,分辨率优于1nm,达到国际先进水平,在半导体晶圆检测、线宽测量、器件失效分析等方面有着广泛应用。
此外,中科科仪还持续为半导体产业提供定制化产品,包括专用磁悬浮分子泵、智能调压插板阀、蝶阀、高灵敏氦质谱检漏仪等系列产品,为众多集成电路装备制造头部企业提供国产化解决方案。
未来,中科科仪将继续秉承“创新科学仪器,发展一流企业”使命,依托尖端科学仪器和真空技术领域深厚的技术积淀,不断发挥领军者作用,强化核心技术攻关,助力高端装备制造领域国产化替代,为半导体产业链自主可控贡献力量!
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