KYKY-EM6900LV
产品特点
- 具备较高分辨率,满足大多数样品的微观形貌测试,尤其适合不便喷涂导电膜的试样
- 翻开式枪室结构钨丝阴极,更换灯丝方便
- 独特的结构可实现样品室低真空氛围(10-270Pa),有效降低电荷积累
- 成像效果优良,细节清晰,景深大
- 中英文菜单,一键成像
- 易操作,低故障,适合多试样测试
- 自动功能:电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等
- 自动校正,自动故障检测
应用领域
生命科学、动植物、微生物、半导体等敏感试样等
- 技术指标
- 尺寸
- 产品特性
- 配件
- 下载
- 分辨率
- 3nm@30KV(SE,高真空); 6nm@30KV(BSE,高、低真空)
- 放大倍率
- 8~300000 倍
- 电子枪
- 翻开式预对中钨丝阴极
- 加速电压
- 0~30kV连续可调,0-10kV步进量为100V,10kV以上步进量为1kV
- 中英文菜单
- 具有一键切换功能
- 低真空模式
- 10~270Pa,真空切换时间小于90秒
- 样品台
- 四轴自动样品台
电子光学镜筒部分: 800×800×1850(mm)
电器柜控制部分: 1340×850×740(mm)
1)具备低真空功能
2)分辨率高、成像质量好
3)翻开式预对中钨丝阴极、选配六硼化镧灯丝
4)中英文操作界面,具有一键成像功能
- 选配件
- 选配探测器
- EBL、高低温台、纳米操作台、拉伸台
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- EBSD、EDS、CL
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